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Fine motion control of a moving stage using a piezoactuator associated with a displacement amplifier

Auteur(s):


Médium: article de revue
Langue(s): anglais
Publié dans: Smart Materials and Structures, , n. 1, v. 14
Page(s): 222-230
DOI: 10.1088/0964-1726/14/1/022
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  • Informations
    sur cette fiche
  • Reference-ID
    10223350
  • Publié(e) le:
    04.12.2018
  • Modifié(e) le:
    04.12.2018
 
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