Enhancing the linear dynamic range of a mode-localized MEMS mass sensor with repulsive electrostatic actuation
| Auteur(s): |
Toky Harrison Rabenimanana
Vincent Walter
Najib Kacem Patrice Le Moal Gilles Bourbon Joseph Lardies |
|---|---|
| Médium: | article de revue |
| Langue(s): | anglais |
| Publié dans: | Smart Materials and Structures, 14 mai 2021, n. 7, v. 30 |
| Page(s): | 07LT01 |
| DOI: | 10.1088/1361-665x/ac075b |
- Informations
sur cette fiche - Reference-ID
10609245 - Publié(e) le:
08.06.2021 - Modifié(e) le:
26.08.2021
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